アークプラズマ蒸着源：最先端の材料開発有効な技術

3つのアークプラズマ蒸着源を、３つの異なる元素のターゲッ
トを各蒸着源に取り付けた、3つのアークプラズマ蒸着源を同
時に蒸着すると、被照射体（例えばカーボン粉体）に上に調整
される１つのナノ粒子の中に３つの元素を含有することが出
来ます。

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